في مجالات التصنيع المتقدمة مثل الدوائر المتكاملة ، و MEMS ، والإلكترونيات الضوئية ، تستخدم تقنية النقش ICP على نطاق واسع في العمليات الرئيسية مثل حفر السيليكون العميق ، وتصنيع هيكل نسبة العمق العالية ، ونقل النمط الدقيق. لا يعتمد استقرار وتوحيد تأثير النقش على كثافة البلازما والتحكم في الطاقة فحسب ، بل يعتمد أيضا على مجموعة من أنظمة توصيل الغاز النظيفة للغاية والمختومة والموثوقة. في الهيكل الأساسي لهذا النظام ، تلعب مجموعات أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ فائقة النقاء ووصلات الطويق المزدوجة دورا لا غنى عنه باعتباره "شريان الحياة للغاز".
1. نقش برنامج المقارنات الدولية: طرح المتطلبات النهائية لنظام الغاز
تثير آلة النقش ICP البلازما عالية الكثافة من خلال ملف الحث العلوي ، ويتم استخدام انحياز القطب المنخفض لتحقيق نقش عالي متباين الخواص. من أجل التحكم بدقة في عمق الحفر وزاوية الجدار الجانبي على مقياس النانومتر الميكرو ، يجب أن يكون نوع غاز التفاعل ونسبته ومعدل التدفق ونقاوته مستقرا ويمكن التحكم فيه.
في عملية النقش الفعلية ، تشمل الغازات الشائعة ما يلي:
• غازات الهالوجين مثل Cl₂ و SF₆ و BCl₃: تستخدم لحفر السيليكون والأكاسيد والمواد الأخرى ؛
• O₂: عامل مؤكسد أو رماد.
• Ar ، هو: مثبت البلازما أو الغاز المخفف.
• المنتجات الثانوية المسببة للتآكل: يجب استخراجها بواسطة نظام التفريغ في الوقت المناسب.
يمكن أن يؤدي أي تلوث صغير بالغاز أو التسرب أو تقلبات التدفق إلى فشل في العملية مثل الحفر غير المتكافئ وانهيار الجدار الجانبي وتلوث الجسيمات. لذلك ، لا ينبغي أن يكون نظام مرور الغاز دقيقا فحسب ، بل يجب أن يكون أيضا نظيفا للغاية ، وعدم وجود تسرب ، ومقاومة للتآكل ، ومستقرة وموثوقة ، وهي القيمة الأساسية لتجميع الأنابيب الفولاذية فائقة النقاء.
2. تكوين تجميع الأنابيب الفولاذية فائقة النقاء والنقاط التقنية البارزة
✅ التركيب الهيكلي:
• أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ غير الملحومة 316L (درجة EP): معالجة الجدار الداخلي المصقول بالكهرباء ، خشونة السطح Ra<0.2μm لمنع التصاق الجسيمات وهطول الأمطار ؛
• مفصل مزدوج من الفولاذ المقاوم للصدأ: هيكل ختم معدني ، مقاوم لدرجات الحرارة العالية ، الضغط العالي ، التآكل العالي ، لتجنب التلوث العضوي ؛
• اختبار إحكام هواء الهيليوم: تم الكشف عن التجميع بأكمله بواسطة مطياف كتلة الهيليوم للتسرب ، ومعدل التسرب أقل من 1×10⁻⁹ Pa · m ³ / s ؛
• منفذ CGA/SEMI القياسي: متوافق بسلاسة مع واجهات معدات أشباه الموصلات السائدة في العالم.
✅ المزايا التقنية:
وصف الخصائص
عملية معالجة فائقة النظافة وخالية من الزيوت والشوائب تلبي متطلبات توصيل الغاز 6N (99.9999٪)
تصميم ختم معدني صلب عالي الإغلاق ، عملية تسرب صفرية ، مناسبة لأنظمة التفريغ العالية
موثوقية عالية مصنع مسبقة الصنع ، تركيب سريع في الموقع ، تفكيك متكرر موثوق به
مقاومة فائقة للتآكل مناسبة لجميع غازات النقش السائدة للتشغيل المستقر على المدى الطويل
دعم التخصيص الشخصي يمكن تخصيص الأشكال الهيكلية المخصصة مثل أنابيب الانحناء والواجهات الملولبة والوصلات الملحومة بالشفة
3. التطبيقات الرئيسية في أنظمة النقش ICP
في معدات برنامج المقارنات الدولية, تستخدم تجميعات الأنابيب الفولاذية فائقة النقاء بشكل أساسي في عقد النظام التالية:
1. حفر القناة الرئيسية لغاز التفاعل
إن توصيل أسطوانة الغاز وغرفة تفاعل النقش لضمان انتقال الغاز عالي النقاء إلى منطقة تفاعل البلازما دون خسارة أو تلوث هو الضمان الأساسي لجودة استقرار النقش.
2. قبل وبعد التحكم في التدفق الشامل MFC
جنبا إلى جنب مع تركيبات الطويق المزدوجة لتحقيق تدفق غاز دقيق ويمكن التحكم فيه ، تساعد في التحكم المتسق في معلمات العملية.
3. مسار العادم الفراغي
تم تجهيز مجموعة الأنابيب الفولاذية المقاومة للتآكل بصمامات تفريغ ومصائد باردة لتحقيق استخراج خال من المتبقية للمنتجات الثانوية للحفر ، مما يقلل بشكل فعال من معدل تلوث غرفة التفريغ وتكرار تنظيف المعدات.
4. لماذا لا يمكنك استبداله بخرطوم؟
يمكن استخدام الخراطيم الصناعية في بعض الأنظمة منخفضة الطلب (مثل التطهير ومياه التبريد) ، ولكن في أنظمة الهواء الرئيسية لبرنامج المقارنات الدولية ، يكون للخراطيم قيود خطيرة:
• يصعب تلبية نظافة الجدار الداخلي للمعيار ، وهناك خطر حدوث ترسيب.
• عرضة للشيخوخة وتسرب الهواء وتشوه الضغط بعد الاستخدام طويل الأمد ؛
• يحتوي شكل الاتصال على ضيق هواء ضعيف ، مما يجعل من الصعب مقاومة الغازات المسببة للتآكل ؛
• عرضة لتقلبات درجات الحرارة ، مما يسبب اضطرابات في التدفق. 、
نتيجة لذلك ، يشكل أي استبدال للخرطوم تهديدا محتملا لاستقرار الحفر ، وتجميعات الأنابيب الفولاذية هي الحل الصناعي الوحيد الذي يمكنه حمل غازات حفر عالية النقاء.
5. الخلاصة: من "نقل الغاز" إلى "حراسة العائد"
في إدارة إنتاجية تصنيع الرقاقة اليوم ، لا يوجد مكان لكل عملية للعيوب. يمكن أن يعني مصدر صغير لتسرب الغاز أو التلوث التخلص من عشرات الرقائق أو حتى تعطل المعدات. مجموعة الأنابيب الفولاذية فائقة النقاء هي "شريان الحياة" الذي يحمي بصمت نقاء الغاز واستقرار المعدات واتساق المنتجات في مكان غير مرئي.
لا يقتصر اختيار نظام دائرة غاز النقش ICP عالي الجودة على اختيار مجموعة من الملحقات فحسب ، بل يتعلق أيضا باستقرار العملية وسلامة الإنتاج وقابلية التكرار في المستقبل.
